VIA hat auf dem Microprocessor Forum 2001 den "Nehemiah"-Prozessor vorgestellt. Die Socket-370-CPU mit 1,5 GHz und SSE-Befehlssatz soll die Nachfolge der aktuellen C3-Prozessoren antreten. Der Chip nutzt den C5XL-Core, der eine Weiterentwicklung des in C3-CPUs verwendeten C5N-Core (auch als Ezra-T bekannt) ist. Im Unterschied zum C5N-Core hat sich beim C5XL im Wesentlichen nur der L2-Cache Aufbau geändert. Der 64 KByte große Cache ist jetzt 16fach assoziativ organisiert. Daneben verlässt VIA auch die alte Allianz mit AMD und setzt bei den neuen Chips auf Intels SSE-Befehlssätze. Gegenüber dem C5N-Core des C3-Prozessors verfügt der Nehemiah über eine schnellere Multiplizier-Einheit sowie viel Feintuning, wie es Glenn Henry, Chef der von VIA aufgekauften Centaur Technology, während seiner Präsentation bezeichnete. Die Fertigung der C5XL-Prozessoren erfolgt in einem 0,13-µm-Kupferprozess. Der Nehemiah benötigt für seine 20,5 Millionen Transistoren eine Die-Fläche von 52 mm², beim Vorgänger waren es noch 56 mm².

Der Nachfolger des C5XL steht auch bereits fest. Ende 2003 soll mit dem C5Z-Core die 2 GHz-Grenze geknackt werden. Der Prozessor gleicht im Aufbau dem C5XL besitzt aber fünf zusätzliche Pipeline-Stufen und unterstützt den SSE2-Befehlssatz des Pentium 4. Erst Anfang 2005 wird mit "CN" eine völlig neue Mikro-Architektur in VIAs Prozessoren Einzug halten.